Klares Quarzglas von Heraeus - 100 Jahre Werkstofferfahrung

Mit dem branchenweit niedrigsten Gehalt an Einschlüssen und Blasen sind die klaren Quarzglaslösungen von Heraeus auch größten Herausforderungen gewachsen.

Nachfolgend finden Sie weitere Informationen.

Eine Auswahl großer Rohre und Hohlzylinder, wie sie für Halbleiteranwendungen verwendet werden
  • Ihre Vorteile

    Interne Materialaufbereitung

    Bei den stetig steigenden Anforderungen heutiger Anwendungen sind die Werkstoffqualität und -stabilität längst zu kritischen Faktoren der Fertigungsprozesssteuerung geworden. Unsere Rohmaterialien bereiten wir vollständig im eigenen Hause auf und machen die Werkstoffqualität damit vollkommen beherrsch- und sichtbar. Des Weiteren bieten wir mit unserem akkreditierten Chemielabor stetige Kontrollen unserer Materialqualität, um die gewünschte Stabilität und Zuverlässigkeit der Produkte zu gewährleisten.

    Extrem wenige Einschlüsse und Blasen

    Wenn Ihre Anwendung wenig Einschlüsse und Blasen erfordert, sind die Quarzglasprodukte von Heraeus Conamic genau was Sie suchen. Mit dem branchenweit niedrigsten Gehalt an Einschlüssen und Blasen sind unsere Werkstoffe auch den größten Herausforderungen gewachsen.

    Umfassender Service aus einer Hand

    Nur bei Heraeus Conamic finden Sie ein so umfassendes Angebot an Quarzglas und damit immer das richtige Material für alle Anwendungen. Wir verwenden alle Schmelzverfahren und -produkte von Standardquarzglas bis zu hochwertigem synthetischem Quarzglas. Dadurch können wir alle Typen in gleicher Fertigungs- und Materialqualität anbieten. So können wir die genau Ihren Anforderungen entsprechenden Materialien empfehlen und auch liefern.

    Alle Formen und Größen

    Die in verschiedenen Ausstattungen erhältlichen Quarzglasprodukte von Heraeus Conamic passen sich Ihrer Komponente an und reduzieren Materialverschwendung. Zu den Standardformen gehören Stäbe, Rohre, Ingots, Zylinder, Platten und Scheiben. Daneben sind viele unserer Produkte auch in quadratischer und rechteckiger Form lieferbar. Bei uns finden Sie das genau auf die Qualität, Form und Größe Ihrer Konstruktion abgestimmte Material.

    Über 100 Jahre Erfahrung

    Seit über hundert Jahren gehört Heraeus zu den führenden Anbietern von Quarzglas. Die in dieser Zeit gewonnenen Erfahrungen macht Heraeus zur ersten Wahl bei der Entwicklung Ihrer speziellen Quarzglaslösung. Von der maßgeschneiderten Dotierung von Quarzwerkstoffen bis hin zur effizienten Massenproduktion von hochwertigem synthetischem Quarzglas - Heraeus Conamic verfügt über das Wissen, die Erfahrung und die Produkte, um Ihre Herausforderungen zu lösen.

  • Anwendungsbereiche

    Elektrisches Schmelzen

    Das elektrische Schmelzen ist das am weitesten verbreitete Verfahren zur Herstellung von Quarzglas. Der Name leitet sich von der Art der Rohstofferwärmung ab, hier also von dem elektrischen Strom, der den Schmelzofen erhitzt.

    Der Vorteil des elektrischen Schmelzens liegt in dem im Vergleich zu anderen Schmelzverfahren geringeren OH-Gehalt, der typischerweise bei <30 ppm liegt. Da der OH-Gehalt die Arbeitshöchsttemperatur des Quarzglases direkt beeinflusst, ist elektrisch geschmolzenes Quarzglas besonders für Hochtemperaturanwendungen geeignet.

    Elektrisches Schmelzen eignet sich gleichermaßen für kontinuierliche Schmelzverfahren als auch für das Schmelzen von großen Blöcken und ermöglicht daher sehr unterschiedliche Geometrien, Formen und Größen.

    Flammenschmelzen

    Im Gegensatz zum elektrischen Schmelzen wird beim Flammenschmelzen kein elektrischer Strom sondern eine H2/O2-Flamme zum Erwärmen und Schmelzen des Ausgangsmaterials verwendet. Der Heraeus-Chemiker Richard Küch begann vor mehr als 100 Jahren erstmals damit, das Flammenschmelzen einzusetzen.

    Als einziger Hersteller verwendet Heraeus Quarzglas ein kontinuierliches Flammenschmelzverfahren als optimale Verbindung aus kontinuierlich und flammengeschmolzenem Quarzglas.

    Dank seines extrem niedrigen Blasenanteils ist flammengeschmolzenes Quarzglas von Heraeus ideal für das Plasmaätzen geeignet.

    Heraeus Conamic bietet zudem flammengeschmolzenes Quarzglas in extragroßen Blöcken von mehr als 1,5 x 1,2 m an.

    Synthetisches Quarzglas

    So genanntes natürliches und synthetisches Quarzglas unterscheidet sich hauptsächlich in den eingesetzten Ausgangsstoffen. Während natürliches Quarzglas ausQuarzsand hergestellt wird, kommen bei synthetischem Quarzglas chemische Gase als Rohstoff zum Einsatz. In Verbindung mit Sauerstoff entsteht aus diesen Silizium enthaltenden chemischen Gasen hochreines Siliziumdioxid. Im Vergleich zu natürlichem Quarzglas lassen sich auf diese Weise vielfach höhere Reinheitsgrade erreichen.

    Synthetisches Quarzglas ist ideal für anspruchsvolle Anwendungen geeignet, bei der die Reinheit der Prozessumgebung von entscheidender Bedeutung ist.

    Unser synthetisches Quarzglas ist in den gleichen Formen, Geometrien und Maßen erhältlich wie das elektrisch geschmolzenes Quarzglas.

  • Technische Daten

    Elektrische Eigenschaften

    Parameter

    Elektrisch geschmolzenes Quarz

    Flammengeschmolzenes Quarz

    Synthetisches Quarzglas

    Elektrischer Widerstand (Ω × m)

    20 °C
    1200 °C

    1018
    1,3 × 105

    1018
    1,3 × 105

    1016
    1,3 × 105

    Durchschlagfestigkeit (KV/mm)

    20 °C

    25 ... 40

    25 ... 40

    25 ... 40

    Dielektrischer Verlustwinkel (tg δ)

    1 MHz

    1,0 × 10-4

    1,0 × 10-4

    1,0 × 10-4

    Dielektrizitätskonstante (ε)

    20 °C 1 MHz

    3,70

    3,70

    3,70

    Mechanische Eigenschaften

    Elektrisch geschmolzenes Quarz

    Flammengeschmolzenes Quarz

    Synthetisches Quarzglas

    Dichte (g/cm3)

    2,203

    2,203

    2,201

    Mohs-Härte

    5,5 ... 6,5

    5,5 ... 6,5

    5,5 ... 6,5

    Mikrohärte (N/mm2)

    8600 ... 9800

    8600 ... 9800

    8600 ... 9800

    Knoop-Härte (N/mm2)

    5800 ... 6100

    5800 ... 6100

    5800 ... 6200

    Elastizitätsmodul 20 °C (N/mm)2)

    7,25 × 104

    7,25 × 104

    7,25 × 104

    Torsionswiderstand (N/mm2)

    3,0 × 104

    3,1 × 104

    3,0 × 104

    Poissonzahl

    0,17

    0,17

    0,17

    Druckfestigkeit (MPa)

    1150

    1150

    1150

    Zugfestigkeit (MPa)

    50

    50

    50

    Biegefestigkeit (MPa)

    67

    67

    67

    Torsionsfestigkeit (MPa)

    30

    30

    30

    Schallgeschwindigkeit (m/s)

    5720

    5720

    5720

    Thermische Eigenschaften

    Technische Eigenschaften

    Elektrisch geschmolzenes Quarz

    Flammengeschmolzenes Quarz

    Synthetisches Quarzglas

    Max. Arbeitstemperatur

    kontinuierlich (°C)
    kurzfristig (°C)

    1160
    1300

    1110
    1250

    950
    1200

    Mittlere spezifische Wärme (J·g-1·K-1)

    772

    772

    772

    Wärmeleitfähigkeit (W·m-1·K-1)

    20 °C

    1,38

    1,38

    1,38

    Mittlerer Ausdehnungskoeffizient (K–1)

    0,47 × 10–6

    0,47 × 10–6

    0,47 × 10–6

Downloads

  • Brochure: Heraeus Clear Fused Quartz - a century of material experience

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  • Flyer: Heraeus Clear Fused Quartz - a century of material experience

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