HSQ®

Das komplette Materialportfolio für Halbleiteranwendungen.

Eine Auswahl großer Rohre und Hohlzylinder, wie sie für Halbleiteranwendungen verwendet werden

Übersicht über die Marke

Heraeus Conamic stellt Quarzglasprodukte unter Anwendung verschiedener Schmelzverfahren her. Die Materialqualitäten und verfügbaren Abmessungen sind jeweils für die Endanwendung optimiert.

Unsere Produkte aus elektrisch geschmolzenem Quarzglas sind der Maßstab für hohe thermische Stabilität bei gleichzeitig hoher Reinheit und Homogenität des Materials. Die Produkte aus synthetischem Quarzglas bieten eine hervorragende chemische Reinheit in synthetischer Qualität. Beide Produkttypen sind in verschiedenen Geometrien und Größen unter der Heraeus Conamic Marke HSQ® erhältlich.

HSQ® Produktportfolio

Nachfolgend finden Sie einen Überblick über die verschiedenen HSQ®-Materialien, die Heraeus Conamic anbietet, jeweils hervorgehoben mit den relevanten Eigenschaften in diesem Anwendungssegment.

Materialqualität

Herstellungsart

Anwendungsbereich

Merkmal

HSQ® 100

Elektrisch

Industriell

Hohe thermische Stabilität, kosteneffiziente Lösung aufgrund des einstufigen elektrischen Schmelzverfahrens, hohe chemische Reinheit

HSQ® 300

Elektrisch

Halbleiter, Solar und industriell

Hohe thermische Stabilität, sehr hohe chemische Reinheit, geringer Gehalt an Blasen und Einschlüssen

HSQ® 330 (S)

Elektrisch

Hoch- und superhochreine Halbleiter

Hohe thermische Stabilität, sehr hohe chemische Reinheit, insbesondere mit engeren Grenzwerten für alkalische und metallische Verunreinigungen, niedriger Gehalt an Blasen und Einschlüssen

HSQ® 400

Elektrisch

Industriell, Solar, Halbleiter

Sehr hohe thermische Stabilität durch chemische Stabilisierung, hohe chemische Reinheit, niedriger Gehalt an Blasen und Einschlüssen

HSQ® 700

Elektrisch

Halbleiter, industriell

Hohe thermische Stabilität, sehr hohe chemische Reinheit, insbesondere geringe Konzentration von Alkalimetallen, niedriger Gehalt an Blasen und Einschlüssen

HSQ® 900

Synthetisch

Zukunftsweisende Halbleiteranwendungen

Hervorragende chemische Reinheit in synthetischer Qualität, nahezu frei von Blasen und Einschlüssen, erhältlich in verschiedenen Geometrien

HSQ®-T

Synthetisch

Zukunftsweisende Halbleiteranwendungen

Hervorragende chemische Reinheit in synthetischer Qualität, nahezu frei von Blasen und Einschlüssen, auch als großes Barrenmaterial erhältlich

Schmelzverfahren von HSQ®

Elektrisches Schmelzen

Das elektrische Schmelzen ist das am weitesten verbreitete Verfahren zur Herstellung von Quarzglas. Der Name leitet sich von der Art der Rohstofferwärmung ab, hier also von dem elektrischen Strom, der den Schmelzofen erhitzt.

Der Vorteil des elektrischen Schmelzens liegt in dem im Vergleich zu anderen Schmelzverfahren geringeren OH-Gehalt, der typischerweise bei <30 ppm liegt. Da der OH-Gehalt die Arbeitshöchsttemperatur des Quarzglases direkt beeinflusst, ist elektrisch geschmolzenes Quarzglas besonders für Hochtemperaturanwendungen geeignet.

Elektrisches Schmelzen eignet sich gleichermaßen für kontinuierliche Schmelzverfahren als auch für das Schmelzen von großen Blöcken und ermöglicht daher sehr unterschiedliche Geometrien, Formen und Größen.

Synthetisches Quarzglas

So genanntes natürliches und synthetisches Quarzglas unterscheidet sich hauptsächlich in den eingesetzten Ausgangsstoffen. Während natürliches Quarzglas aus Quarzsand hergestellt wird, kommen bei synthetischem Quarzglas chemische Gase als Rohstoff zum Einsatz. In Verbindung mit Sauerstoff entsteht aus diesen Silizium enthaltenden chemischen Gasen hochreines Siliziumdioxid. Im Vergleich zu natürlichem Quarzglas lassen sich auf diese Weise vielfach höhere Reinheitsgrade erreichen.

Synthetisches Quarzglas ist ideal für anspruchsvolle Anwendungen geeignet, bei der die Reinheit der Prozessumgebung von entscheidender Bedeutung ist. Unser synthetisches Quarzglas ist in den gleichen Formen, Geometrien und Maßen erhältlich wie das elektrisch geschmolzenes Quarzglas.

Vorteile von HSQ®

  • Bewältigung der wichtigsten Materialherausforderungen

    • Hohe thermische Stabilität (elektrisch geschmolzenes Quarzglas)
    • Hervorragende synthetische Reinheit (synthetisch geschmolzenes Quarzglas)
    • Geringer Anteil an Einschlüssen und Blasen
  • Beständigkeit über Jahrhunderte

    • In-house Materialaufbereitung
    • > 100 Jahre Erfahrung
    • Vollständiges Portfolio in Form und Größe

Anwendungsbereiche

  • Prozessrohre für Single Wafer Anwendungen und Batchöfen
  • Deckplatten für Außenrohre
  • Boote für Batchöfen

Downloads