Basismaterialien
Unter Basismaterial verstehen wir die grundlegenden Produktgeometrien wie Blöcke, Stäbe, Rohre, Platten und mehr. Heraeus Conamic bietet in diesem Bereich Produkte in einer standardisierten Form an, die bereits in bestimmten geometrischen Dimensionen wie Außendurchmesser, Wandstärke oder Länge an die Endanwendung angepasst werden können.
- Basismaterialien
Heraeus Conamic produziert und liefert Quarzglas-Halbzeuge. Die Produktpalette reicht von Blöcken und Platten bis hin zu Zylindern und Rohren. Durch die kontinuierliche Verbesserung bestehender Produkte und die Entwicklung eigener Forschungsergebnisse bieten wir maßgeschneiderte Lösungen, um sowohl die bekannten als auch die neuen Anforderungen und Erwartungen unserer Kunden zu erfüllen.
Alle Verfahren bei Heraeus Conamic entsprechen den strengen Zertifizierungsanforderungen der Halbleiterindustrie und anderer High-Tech-Unternehmen.
Heraeus Conamic beherrscht viele verschiedene Verfahren, um Quarzglas in nahezu jeder Form und Materialqualität zu liefern. Diese Vielfalt an unterschiedlichen Quarzgläsern und Produktionswegen hat Heraeus einen Ruf für Flexibilität und Innovationskraft eingebracht.
Quarzglaskomponenten
Im Bereich der Quarzglaskomponenten bietet Heraeus Conamic Quarzglasprodukte an, die entsprechend der Zeichnung für die endgültige Anwendung weiterbearbeitet werden. Dies ermöglicht unseren Kunden, Quarzglaskomponenten in den finalen Geometrien aus den Händen eines kompetenten Anbieters zu erhalten. Unsere Quarzglaskomponenten lassen sich nach der Produktionsart der Halbleiteranwendungen unterscheiden:
- Quarzglasprodukte für Single-Wafer-Anwendungen
Heraeus ist in der Lage, Quarzglasprodukte wie z.B. Ringe, Fenster, Dome und Liner für alle gängigen Single-Wafer-Anwendungen zu liefern. Üblicherweise handelt es sich dabei um Quarzteile in denen Wafer bis zu einer Größe von 12 Zoll verarbeitet werden.
Um eine optimale Leistung der fertigen Quarzglasprodukte zu gewährleisten, ist die Wahl des geeigneten Rohmaterials, der Oberflächenstruktur und der Reinheit von entscheidender Bedeutung. Durch ein weltweites Netzwerk bietet Heraeus Conamic Designunterstützung an.
- Quarzglasprodukte für Batchöfen
Im Bereich von Batchöfen bietet Heraeus Conamic Quarzglasprodukte für alle gängigen Anwendungen, wie z.B. für die chemische Gasphasenabscheidung (Chemical Vapour Deposition, CVD), die epitaktische Abscheidung und andere Hochtemperaturverfahren an. Beispiele hierfür sind sind Prozessrohre, Liner, Sockel, Gasinjektoren und viele weitere komplexe Komponenten. Üblicherweise handelt es sich dabei um Quarzteile in denen Wafer bis zu einer Größe von 12 Zoll verarbeitet werden.
Darüber hinaus kann Heraeus auch einsatzfähige (CFI) Quarzglasprodukte zur Verfügung stellen, so dass Kunden unsere Produkte direkt nach der Lieferung und ohne weitere Behandlung verwenden können.
Um eine optimale Leistung der endgültigen Quarzglasprodukte zu gewährleisten, bietet Heraeus Conamic über sein weltweites Fertigungsnetzwerk Designunterstützung an.
Quarzglasprodukte nach Form
Das Heraeus Conamic Quarzglas-Portfolio deckt ein breites Spektrum an Formen und Abmessungen ab. Dazu gehören Rohre, dickwandige Hohlkörper, Blöcke, Platten und andere Geometrien speziell für Halbleiteranwendungen.
