Quarzglasplatten für Halbleiteranwendungen

Quarzglasplatten werden in der Halbleiterindustrie für die Herstellung von Anlagen zur Verarbeitung von Batch- und Single Wafern benötigt.

Heraeus Conamic stellt Quarzglasplatten in einer Vielzahl von Materialqualitäten und Abmessungen her. Die angebotenen Platten zeichnen sich durch hohe Reinheit und Materialhomogenität bei gleichzeitig geringem Blasengehalt aus.

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Verschiedene Größen und Qualitäten von dünnen Quarzscheiben und -platten

  • Schmelzverfahren und Vorteile

    Nachfolgend finden Sie einen Überblick über die verschiedenen Schmelzverfahren, die Heraeus Conamic nutzt, jeweils mit dem führenden Materialvorteil in diesem Segment.

    Natürliches Quarzglas

    • Elektrisch geschmolzene Quarzglasplatten
      Elektrisch geschmolzene Quarzglasplatten werden aus HSQ® Quarzglasblöcken geschnitten, die in mehreren Heißbearbeitungsschritten hergestellt wurden. Die mittels Band- und Drahtsäge geschnittenen Quarzglasplatten weisen eine verbesserte Homogenität und einen niedrigen OH-Gehalt für hohe thermische Stabilität in der Endanwendung auf.
    • Flammengeschmolzene Quarzglasplatten
      Heraeus Conamic nutzt ein kontinuierliches Schmelzverfahren zur Herstellung von TSC® flammengeschmolzenen Quarzglasblöcken, aus denen Quarzglasplatten mit Hilfe von Band- und Drahtsäge geschnitten werden. Dieses einzigartige Verfahren ermöglicht unseren Kunden die Verwendung eines Materials mit einem sehr geringen Anteil an Blasen und Einschlüssen bei gleichzeitig hoher Reinheit.

    Synthetisches Quarzglas

    Synthetische Quarzglasplatten

    Für die anspruchsvollsten Anforderungen der Halbleiterindustrie stellt Heraeus Conamic synthetische Quarzglasplatten aus HSQ®900- und Spectrosil-Quarzglasblöcken her. Alle synthetischen Materialien von Heraeus zeichnen sich durch eine Reinheit im Bereich von parts per billion (Milliardstel) sowie keinerlei Blasen aus.

    Opakes Quarzglas

    • Weiß-opake Quarzglasplatten
      Heraeus Opaque Material OM®100 ist ein weiß- opakes, hochreines Quarzglas. Die zugrundeliegende Herstellungstechnologie bewirkt eine einzigartige Mikroporosität, die im Vergleich zu anderen opaken Materialien überlegene thermische Reflexionseigenschaften bietet.
    • Schwarz-opake Quarzglasplatten
      Heraeus Black Quartz HBQ®100 ist ein schwarz- opaker, hochreiner Quarzglasverbundwerkstoff. Zusätzlich zu unserem weiß- opaken Material (OM®100) und klaren Quarzglasmaterialien (HSQ®) bietet HBQ®100 einzigartige Vorteile für individuelle Herausforderungen in der Endanwendung, wie beispielsweise die Wärmeabsorption.

  • Anwendungsbereiche

    Quarzglasplatten werden in der Halbleiterindustrie für die Herstellung von Booten, Sockeln, Wafern und Waferträgern für Batchöfen benötigt. Für Single Wafer Anlagen werden Platten zur Herstellung von Fenstern, Gasverteilerplatten, Waferträgern und Suszeptoren verwendet.

    Das Portfolio von Heraeus Conamic umfasst mehrere Materialqualitäten, um alle OEM-Anforderungen zu erfüllen, einschließlich anspruchsvoller Spezifikationen für ultrahohe Reinheiten.

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