石英基础材料
石英基础材料代表了产品由熔融石英和二氧化硅制成,如锭、棒、管、板等。在这一领域,贺利氏科纳米提供的产品包括 标准表格 在某些几何尺寸(如外径、壁厚或长度)上已经与最终应用相匹配。
- 基础材料
贺利氏科纳米生产和供应石英玻璃半成品。产品范围包括块材、板材、圆筒和管材。通过对现有产品的不断改进和内部研究人员的发展,我们提供了量身定制的解决方案,以满足客户的新需求和期望。
贺利氏科纳米的所有工艺流程均符合半导体行业和其他高科技公司最严格的认证要求。
贺利氏科纳米掌握了多种不同的工艺,可以提供几乎任何形状和材料质量的石英玻璃。各种不同等级的石英玻璃和生产工艺为 贺利氏 赢得了灵活性和创新实力的美誉。
石英制品
在人造石英制品领域,贺利氏科纳米提供熔融石英和二氧化硅产品,并根据图纸进一步加工到最终应用。这样,客户就能从一家专业供应商手中获得最终几何形状的人造石英制品。制造的石英制品可根据最终半导体应用的生产类型加以区分:
- 用于单晶圆应用的石英制品
贺利氏科纳米可为所有典型的单晶圆应用提供石英器件,如用于所有相关半导体工艺的环、窗、圆顶、衬里等。可提供处理 6 英寸到 12 英寸晶圆的解决方案(其他解决方案可根据要求提供)。
为确保最终石英制品的最佳性能,选择合适的基材、表面形态和清洁度非常重要。贺利氏科纳米可通过我们的全球制造网络为您提供设计支持,将您与该领域的专家联系起来。
- 用于多片式炉的石英制品
在多片式炉应用方面,贺利氏科纳米为所有典型的批量应用提供石英器件,如 CVD、外延沉积和其他高温工艺。批处理系统的产品示例包括工艺管、内衬、基座、气体喷射器和许多更复杂的组件。可提供处理 4 英寸到 12 英寸晶圆的解决方案。
贺利氏科纳米还可提供能直接安装的石英制品 (CFI),使我们的客户能够在交货后直接使用我们的产品,而无需进行任何进一步处理。
为确保最终石英制品的最佳性能,贺利氏科纳米可通过我们的全球制造网络为您提供设计支持,并将您与该领域的专家联系起来。