Quarzglashohlzylinder für Halbleiteranwendungen

Quarzglashohlzylinder werden für die Herstellung von Geräten zur Bearbeitung einzelner Wafer für Plasmaätz- und Abscheidungssysteme benötigt.

Heraeus Conamic fertigt Quarzglashohlzylinder in verschiedenen Materialqualitäten und Abmessungen. Die erzeugten Hohlzylinder zeichnen sich durch hohe Reinheit und Materialhomogenität bei gleichzeitig geringem Blasengehalt aus.

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Foto von zwei großen Hohlzylindern aus Quarz

  • Schmelztechnologien und Vorteile

    Nachfolgend finden Sie eine Übersicht über die verschiedenen Schmelztechnologien, die Heraeus Conamic einsetzen kann, jeweils mit dem Hinweis auf den führenden Materialvorteil in diesem Segment.

    Natürliches Quarzglas

    Flammengeschmolzene Quarzglashohlzylinder

    Heraeus Conamic verwendet die kontinuierliche Schmelztechnologie zur Herstellung von TSC® flammengeschmolzenen Quarzmulden. Dieses einzigartige Verfahren erlaubt den Kunden die Verwendung von Material mit folgenden Eigenschaften sehr geringer Gehalt an Blasen und Einschlüssen unter Beibehaltung hoher Reinheit.

    Synthetisches Quarzglas

    Synthetische Quarzglashohlzylinder

    Für die anspruchsvollsten Anforderungen der Halbleiterindustrie stellt Heraeus Conamic synthetische Quarzglasmulden her. TSC-T® ist die entsprechende Materialqualität, die sich durch die Reinheitsklasse von Teilen pro Milliarde auszeichnet und Null-Luftblasen-Gehalt.

    Weitere Informationen über TSC®

  • Anwendungsbereiche

    Es sind Quarzglashohlzylinder erhältlich, um die strengen Anforderungen an Reinheit und Optik bei der Herstellung von Geräten für die Einzelwaferverarbeitung, wie z.B. Fokusringe für Plasmaätzsysteme, zu erfüllen.

    Das Portfolio von Heraeus Conamic umfasst mehrere Qualitäten, um alle OEM-Anforderungen zu erfüllen, einschließlich anspruchsvoller Spezifikationen für ultrahohe Reinheit.

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