Quarzglasblöcke werden in der Halbleiterindustrie für die Herstellung von Anlagen zur Verarbeitung von Batch- und Single Wafern benötigt.
Heraeus Conamic stellt Quarzglasblöcke in einer Vielzahl von Materialqualitäten und Abmessungen her. Die angebotenen Blöcke zeichnen sich durch hohe Reinheit und Materialhomogenität bei gleichzeitig geringem Blasengehalt aus.
Schmelzverfahren und Vorteile
Nachfolgend finden Sie einen Überblick über die verschiedenen Schmelzverfahren, die Heraeus Conamic nutzt, jeweils mit dem führenden Materialvorteil in diesem Segment
Natürliches Quarzglas
- Elektrisch geschmolzene Quarzglasblöcke
Die HSQ® elektrisch geschmolzenen Quarzblöcke werden in mehreren Heißbearbeitungsschritten hergestellt. Dieses mehrstufige Produktionsverfahren gewährleistet eine verbesserte Homogenität sowie einen niedrigen OH-Gehalt für hohe thermische Stabilität in der Endanwendung. - Flammengeschmolzene Quarzglasblöcke
Heraeus Conamic nutzt ein kontinuierliches Schmelzverfahren zur Herstellung von TSC® flammengeschmolzenen Quarzglasblöcken. Dieses einzigartige Verfahren ermöglicht unseren Kunden die Verwendung eines Materials mit einem sehr geringen Anteil an Blasen und Einschlüssen und erfüllt gleichzeitig die strengen Anforderungen an Abmessungen, visuelle Eigenschaften und Reinheit in der Endanwendung
Synthetisches Quarzglas
Synthetisch hergestellte Quarzglasblöcke
Für die anspruchsvollsten Anforderungen der Halbleiterindustrie stellt Heraeus Conamic synthetische Quarzglasblöcke in den Qualitäten HSQ®900 und Spectrosil her. Alle synthetischen Materialien von Heraeus zeichnen sich durch eine Reinheit im Bereich von parts per billion (Milliardstel) aus und enthalten keinerlei Blasen.
Opakes Quarzglas
- Weiß-opake Quarzglasblöcke
Heraeus Opaque Material OM®100 ist ein weiß-opakes, hochreines Quarzglas. Die zugrundeliegende Herstellungstechnologie bewirkt eine einzigartige Mikroporosität, die im Vergleich zu anderen opaken Materialien überlegene thermische Reflexionseigenschaften bietet. - Schwarz-opake Quarzglasblöcke
Heraeus Black Quartz HBQ®100 ist ein schwarz-opaker, hochreiner Quarzglasverbundwerkstoff. Zusätzlich zu unserem weiß-opaken Material (OM®100) und klaren Quarzglasmaterialien (HSQ®) bietet HBQ®100 einzigartige Vorteile für individuelle Herausforderungen in der Endanwendung, wie beispielsweise die Wärmeabsorption.
- Elektrisch geschmolzene Quarzglasblöcke
Anwendungsbereiche
Quarzglasblöcke werden eingesetzt, um die strengen Anforderungen an Reinheit und visuelle Eigenschaften bei der Herstellung von Anlagen für die Batch- und Single Wafer Verarbeitung zu erfüllen.
Das Portfolio von Heraeus Conamic umfasst mehrere Materialqualitäten, um alle OEM-Anforderungen zu erfüllen, einschließlich anspruchsvoller Spezifikationen für ultrahohe Reinheiten.
