Rohre aus Quarzglas werden in der Halbleiterindustrie für die Herstellung von Chargenverarbeitungsanlagen benötigt, die in CVD-, Diffusions- und Glühanlagen eingesetzt werden. Heraeus Conamic stellt Rohre aus Quarzglas in einer Vielzahl von Materialqualitäten und Abmessungen her.
Die gelieferten Rohre zeichnen sich durch hohe Reinheit und Materialhomogenität bei gleichzeitig geringem Blasengehalt und engen Maßtoleranzen aus.
Schmelzverfahren und Vorteile
Nachfolgend finden Sie eine Übersicht über die verschiedenen Schmelztechnologien, die Heraeus Conamic einsetzen kann, jeweils mit dem Hinweis auf den führenden Materialvorteil in diesem Segment.
Natürliches Quarzglas
- Elektrisch geschmolzene Quarzrohre
HSQ®100 Einzelschritt-Quarzrohre werden in einem elektrischen Schmelzverfahren gezogen, das in eine kosteneffiziente Lösung für viele industrielle Anwendungen resultiert.
Für anspruchsvollere High-End-Halbleiteranwendungen kann Heraeus Conamic mehrstufige und verbesserte einstufige elektrisch geschmolzene Quarzrohre in den Materialqualitäten HSQ®300, HSQ®330 und HSQ®330S anbieten, je nach den Reinheitsanforderungen der Kundenanwendung.
Dies führt zu einem Material mit verbesserter Homogenität und niedrigem OH-Gehalt für hohe thermische Stabilität in der endgültigen Anwendung. Elektrisch geschmolzene und stabilisierte Quarzrohre
Für Hochtemperaturanwendungen bietet Heraeus Conamic elektrisch geschmolzene Quarzrohre mit weiter verbesserte Temperaturstabilität um die Möglichkeit des Durchhängens bei erhöhten Arbeitstemperaturen zu verringern.
Die verwendeten Quarzglasrohre mit großem Durchmesser werden daher mit einem speziellen Mittel imprägniert, um die Bildung einer Stabilisierungsschicht in der Endanwendung zu bewirken. Die Ursprungsrohre aus Quarzglas werden mit der Materialqualität HSQ®400 bezeichnet.
Synthetisches Quarzglas
Synthetische Quarzglasrohre
Heraeus Conamic produziert synthetische Quarzglasrohre für die anspruchsvollsten Anforderungen der Halbleiterindustrie. HSQ®900 ist die entsprechende Materialqualität, gekennzeichnet durch Teile pro Milliarde Klasse Reinheit und null Luftblasengehalt.
- Elektrisch geschmolzene Quarzrohre
Anwendungsbereiche
Rohre aus Quarzglas werden bei der Verarbeitung in Kammeröfen als chemisch reine Reaktionskammern, als Gas- oder Flüssigkeitseinlässe oder als Rohre für den Transport verwendet.
Das Portfolio von Heraeus Conamic umfasst mehrere Qualitäten, um alle OEM-Anforderungen zu erfüllen, einschließlich anspruchsvoller Spezifikationen für ultrahohe Reinheit.
Downloads
Datenblatt: Quarz-Rohre
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