半导体工业需要熔融石英和石英管来制造用于 CVD、扩散和退火工具的批量加工设备。Heraeus Conamic 生产各种材料等级和尺寸的熔融石英和石英管。
所提供的管材具有纯度高、材料均匀的特点,同时还能保持较低的气泡含量和严格的尺寸公差。

融合技术与优势
在下文中,您将看到 Heraeus Conamic 可利用的不同熔融技术的概述,每种技术都突出了在该领域的领先材料优势。
天然熔融石英
- 电熔石英管
HSQ®100 单步石英管是在电融合过程中产生的 有成本效益的解决方案 适用于多种工业应用。
对于要求更高的高端半导体应用,Heraeus Conamic 可根据客户应用的纯度要求,提供 HSQ®300、HSQ®330 和 HSQ®330S 材料质量的多级和改进型单级电熔石英管。
这些结果使材料具有增强的均匀性和低羟基含量,从而在最终应用中 热稳定性高 。 电熔和稳定石英管
对于高温应用,Heraeus Conamic 可提供的电熔石英管,具有以下特性 进一步提高温度稳定性 在较高的工作温度下减少下垂的可能性。
因此,在所使用的大直径熔融石英管中浸渍一种特殊的剂,以诱导在最终应用中形成稳定层。原熔融石英管采用了 HSQ®400 材料质量。
合成熔融石英
合成熔融石英管
Heraeus Conamic 生产合成熔融石英管,以满足半导体行业最严格的需求。HSQ®900 对应的材料质量特点是 十亿分之一级纯度 气泡含量为零。
- 电熔石英管
应用的领域
熔融石英和石英管在间歇式炉加工中用作化学纯反应室、气体或液体入口或输送管。
Heraeus Conamic 的产品组合涵盖多个等级,可满足所有OEM的需求,包括具有挑战性的超高纯度规格。
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数据表:石英管
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