Neonyx® 的优势
应对当今的材料挑战
- 最大限度减少夹杂物和夹杂物
- 优化工艺产量和性能
- 改善总拥有成本
实现下一代节点规模
- 适用于所有半导体工艺
- 合成热管理
为未来提供一致性
- 完全受控的原料供应
- 无自然变异
- 高容量可用性
Neonyx® 合成熔融石英产品组合
Neonyx HSQ-T
Neonxy HSQ-T 是专为您的间歇式炉应用而开发的，将Heraeus HSQ 的所有优势与合成石英材料先进的性能相结合，同时保持现有产品组合不变。Neonyx HSQ-T 可提供大直径管材、小直径管材、棒材、锭材、板材等，使您能够用相同等级的材料制造全套批量炉：Neonyx HSQ-T！
Neonyx TSC-T
用于下一代单晶圆应用的材料等级：Neonyx TSC-T。Neonyx TSC-T 超越了已确立的高性能材料 TSC-3/4 的优越性能，气泡和材料夹杂物含量极低，可应对高端单晶圆应用的挑战。
应用领域
沉积和蚀刻工艺是半导体制造链中最关键的工艺之一。与三维空间的不断融合提出了新的要求，而且越来越具有挑战性。Neonyx 是应对这些挑战的理想材料。请阅读以下有关具体流程的更多信息。
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宣传册：Heraeus Neonyx® - 新的合成石英标准
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