用于半导体应用的熔融石英和二氧化硅产品

熔融石英和二氧化硅是半导体工业多种应用中的关键材料。进一步了解如何为您的半导体应用找到最佳的熔融石英和二氧化硅。

印刷电路板上的蓝色半导体芯片示意图
贺利氏科纳米生产各种等级和尺寸的半导体用天然熔融石英和合成熔融石英产品。所提供产品的特点是纯度高、材料均匀,同时保持低气泡含量和严格的尺寸公差。

半导体应用产品组合

贺利氏科纳米用于半导体应用的产品组合可根据所涉及的制造等级分为两大专业领域:

  • 石英基础材料

    石英基础材料代表了由熔融石英和二氧化硅制成,如锭、棒、管、板等。在这一领域,Heraeus Conamic 提供的产品包括在某些几何尺寸(如外径、壁厚或长度)上已经与最终应用相匹配。

  • 石英制品

    在石英制品领域,Heraeus Conamic 提供熔融石英和二氧化硅产品,并根据图纸进一步加工到最终应用。这样,客户就能从一家专业供应商手中获得最终加工成型的石英制品。制造的石英制品可根据最终半导体应用的生产类型加以区分:

    用于单晶圆应用的石英制品

    Heraeus Conamic 可为所有典型的单晶圆应用提供石英器件,如用于所有相关半导体工艺的环、窗、圆顶、衬里等。可提供处理 6 英寸到 12 英寸晶圆的解决方案(其他解决方案可根据要求提供)。

    为确保最终石英制品的最佳性能,选择合适的基材、表面形态和清洁度非常重要。Heraeus Conamic 可通过我们的全球制造网络为您提供设计支持,将您与该领域的专家联系起来。

    用于多片式炉的石英制品

    在多片式炉应用方面,Heraeus Conamic 可为所有典型的批量应用提供石英器件,如 CVD、外延沉积和其他高温工艺。批处理系统的产品示例包括工艺管、内衬、基座、气体喷射器和许多更复杂的组件。可提供处理 4 英寸到 12 英寸晶圆的解决方案。

    Heraeus Conamic 还可提供能直接安装的石英制品 (CFI),使我们的客户能够在交货后直接使用我们的产品,而无需进行任何进一步处理。

    为确保最终石英制品的最佳性能,Heraeus Conamic 可通过我们的全球制造网络为您提供设计支持,并将您与该领域的专家联系起来。

半导体应用材料等级

所提供的天然熔融石英和合成熔融石英材料等级可根据制造最终产品所用的基本生产技术进行分类。在下文中,您将看到贺利氏科纳米提供的不同材料等级的概述,并突出显示了该应用领域的主要特点:

更多材料等级

材料等级

生产类型

应用

特点

HSQ® 100

电动

工业

热稳定性高,由于采用单步电熔工艺,成本效益高,并且化学纯度高

HSQ® 300

电动

半导体、太阳能和工业

热稳定性高,化学纯度极高,并且气泡和夹杂物含量低

HSQ® 330 (S)

电动

高纯度和超高纯度半导体

热稳定性高,化学纯度极高,特别是对碱性和金属夹杂物的限制更严格,并且气泡和夹杂物含量低

HSQ® 400

电动

工业、太阳能、半导体

热稳定性极高 由于具有化学稳定层,化学纯度高,并且气泡和夹杂物含量低

HSQ® 700

电动

半导体、工业

热稳定性高,化学纯度极高,尤其是碱金属浓度低,并且气泡和夹杂物含量低

TSC®-3N

火焰

半导体,尤其适用于蚀刻系统

气泡和夹杂物含量极低,由于采用大容量焰熔工艺,因此是一种经济高效的解决方案,并且化学纯度高

TSC®-3

火焰

半导体,尤其适用于蚀刻系统

气泡和夹杂物含量极低,化学纯度极高,也适用于大体积几何形状的产品

TSC®-4

火焰

半导体,尤其适用于蚀刻系统

气泡和夹杂物含量极低,化学纯度极高,尤其是铝含量和碱含量较低,也适用于大体积几何形状的产品

OM® 100

烧结

半导体、工业、太阳能

高热反射化学纯度极高,表面光洁度极佳

HBQ® 100

烧结

半导体、太阳能、工业

高热吸收和光学吸收化学纯度极高,热辐射率高

HSQ®-T

合成材料

领先的半导体应用

出色的合成级化学纯度,大多数元素低于检测限,并且有不同几何形状可供选择

TSC®-T

合成材料

尖端半导体应用,尤其适用于蚀刻系统

出色的合成级化学纯度,几乎无气泡和夹杂物,也适用于特定大体积几何形状的产品

Neonyx® OM

合成材料

领先的半导体应用

出色的合成级化学纯度,可提高热反射性能,也可提供近净形几何形状

HSQ® 900

合成材料

领先的半导体应用

出色的合成级化学纯度,几乎无气泡和夹杂物,并且有不同几何形状可供选择

Spectrosil® 1000

合成材料

领先的半导体应用

出色的合成级化学纯度几乎不含气泡和夹杂物,也可用作大型铸锭材料