石英表面处理


石英制品的表面状态起到至关重要的作用,尤其是在半导体工艺中。Heraeus 提供的石英表面处理可延长石英的使用寿命并/或节约成本。

镀膜石英器件的特写照片

SST - 特殊表面处理

在半导体沉积过程中,石英制品会被镀上一层薄膜。沉积膜与石英表面的附着力会对非CTE匹配沉积层的石英制品平均清洗间隔时间 (MTBC) 造成极大影响。贺利氏SST是一种表面处理技术,旨在增加沉积层厚度并抑制颗粒生成。这就降低了石英制品的拥有成本。

在半导体蚀刻工艺中沉积聚合物薄膜时,贺利氏SST可提供洁净的表面,使薄膜具有极佳的附着力。这有可能缩短预烧时间,延长 MTBC。

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  • 数据表:SST - 特殊表面处理

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