翻新和维修服务

Heraeus Conamic 可为所有常见应用（如 CVD、外延沉积和其他高温工艺）提供石英制品的维修或翻新服务。可提供加工 6 英寸至 12 英寸晶圆的解决方案（可应要求提供其他方案）。

翻新用于 CVD 工艺的石英设备

对用于 CVD 应用的管材，在使用过程中管体遭受极大的侵蚀。通过安装新的管道和圆顶，可以将这些管道翻新到接近全新的状态。在这些应用中，需要对密封面的法兰进行必要的修复。这种回收管法兰的方式可对拥有成本和交付周期产生重大影响。

有化学加工痕迹的管子 — 翻新用于 CVD 应用的石英制品

维修

与更换相比，修复缺口、破损的端口、破损的基座鳍片和细小裂缝能够大幅降低拥有成本。咨询我们的销售专家，可以确定特定物品的潜在维修价值。如果可行，通常会将部件运送到我们的维修地点之一，以获得将部件恢复到可用状态的定制报价。

用于半导体工艺的石英玻璃裂纹照片 — 修复缺口、破损的端口、破损的基座鳍片和细小裂缝

高温氧化物晶圆载体在长时间使用后会变形。我们可以拉直棒材，使晶圆载体恢复到可用状态。

批处理系统的产品示例包括工艺管、内衬、晶圆载体、基座、气体喷射器、钟罩和许多更复杂的组件。