熔融石英和硅棒在半导体工业中用于批量加工设备的制造。
Heraeus Conamic 提供各种材料等级和尺寸的熔融石英和石英棒。熔融石英和石英棒的关键在于低气泡含量、高纯度和严格的几何公差。

融合技术与优势
在下文中,您将看到 Heraeus Conamic 可利用的不同熔融技术的概述,每种技术都突出了在该领域的领先材料优势。
天然熔融石英
电熔石英棒
HSQ®100 单步法石英棒是通过电熔工艺拉制而成。 有成本效益的解决方案 适用于多种工业应用。
对于要求更高的高端半导体应用,Heraeus Conamic 可根据客户应用的纯度要求,提供 HSQ®300、HSQ®330 和 HSQ®330S 材料质量的多级和改进型单级电熔石英棒。
这些结果使材料具有增强的均匀性和低羟基含量,从而在最终应用中 热稳定性高 。
合成熔融石英
合成熔融石英棒
Heraeus Conamic 生产用于尖端半导体应用的合成熔融石英棒。HSQ®900 和 Spectrosil 是相应的材料质量与 十亿分之一级纯度和零气泡含量。
应用的领域
熔融石英棒,以满足严格的尺寸和视觉要求,在批量炉组件制造船,晶圆载体和基座。
Heraeus Conamic 的产品组合涵盖多个等级,可满足所有 OEM 的需求,包括具有挑战性的超高纯度规格。
下载
数据表:石英棒
下载