品牌概述
贺利氏科纳米利用不同的熔融技术生产熔融石英和二氧化硅产品。每种材料的等级和可用尺寸都针对其最终应用进行了优化。
焰熔石英和二氧化硅*产品统一使用 TSC® 品牌，可满足最少气泡和夹杂物要求，同时保持高纯度和材料均一性。
* 用于 TSC-T® 合成烟尘工艺
TSC® 产品组合
在下文中，您将看到贺利氏科纳米可提供的不同 TSC® 材料等级的概述，每种等级都突显该应用领域的相关特性。
材料等级 | 生产类型 | 应用 | 特点 |
TSC-3N | 火焰 | 半导体，尤其适用于蚀刻系统 | 气泡和夹杂物含量极低，由于采用大容量焰熔工艺，因此是一种经济高效的解决方案，并且化学纯度高 |
TSC®-3 | 火焰 | 半导体，尤其适用于蚀刻系统 | 气泡和夹杂物含量极低，化学纯度极高，也适用于大体积几何形状的产品 |
TSC®-4 | 火焰 | 半导体，尤其适用于蚀刻系统 | 气泡和夹杂物含量极低，化学纯度极高，尤其是铝含量和碱含量较低，也适用于大体积几何形状的产品 |
TSC®-T | 合成材料 | 尖端半导体应用，尤其适用于蚀刻系统 | 出色的合成级化学纯度，几乎无气泡和夹杂物，也适用于特定大体积几何形状的产品 |
TSC® 的融合方法
火焰
与电熔相反，焰熔不使用电流，而是使用 H2/O2-火焰加热和熔化材料。100 多年前，贺利氏化学家 Richard Küch 率先熔化石英，他采用焰熔工艺进行了这一开创性的尝试。
Heraeus Conamic 是唯一一家能够采用连续焰熔工艺生产熔融石英的材料制造商，它将连续工艺的优势与焰熔石英的特性相结合。
极低的气泡含量使贺利氏熔石英成为等离子蚀刻应用的最佳选择。贺利氏科纳米还提供 1.5m x 1.2m 或更大尺寸的焰熔材料锭。
合成材料
所谓天然石英材料与合成石英材料的主要区别在于所使用的原料。天然石英是由石英矿中的石英砂制成的，而合成石英则使用化学气体作为原料。这种含有硅源的化学气体会与氧气反应，形成纯净的二氧化硅。与天然石英相比，这种制造工艺所能达到的纯度要高得多。
合成熔融石英（有时也称为熔融石英）是对工艺环境的纯度要求最高的应用领域的理想选择。
我们的合成熔融石英材料具有与电熔材料相同的形状、几何形状和尺寸组合。
TSC® 的优势
应对重大挑战
- 最少的夹杂物和气泡
- 可随时提供大尺寸
- 出色的合成级纯度（合成熔融石英）
提供长达数百年的一致性
- 内部材料净化
- 超过百年经验
- 改善总拥有成本
应用领域
- 用于等离子蚀刻系统的聚焦环
- 沉积系统中的窗口
- 蚀刻系统的盖子
